研究詳細

電気化学堆積法を応用したダイレクトパターニング

カテゴリ ナノテク・材料
研究者 氏名 佐伯 淳
研究者 職階 教授
研究者 学部名 都市デザイン学部
研究者 顔写真
題名 電気化学堆積法を応用したダイレクトパターニング
分野 セラミックス材料
キーワード 機能性セラミックス、材料機能、X線回折
内容 薄膜形成においては高温で行われることが多いが、相転移の問題や熱歪みの発生など素子に与える影響は大きく、成膜後の処理も重要な課題となっている。本研究では機能性セラミックス薄膜を水溶液から電気化学的に析出させる際に、マスク等を用いずにパルス電場を印可することにより特定部位への析出を制御し、エッチング等の後操作なしでダイレクトにパターン形成を行うものである。印可したパルスの周波数に対応した間隔の線状膜の生成を確認しており、パルス電場の制御により、より複雑なパターンも可能であると考えられる。
ポイント ・前駆体溶液中で電圧を印加することにより、電極間にイオンの移動と電気化学的反応を起こし、基板上に膜を堆積させる成膜法。 ・高温、真空を必要としない(常温・常圧) ・成膜装置が小規模 ・低コスト・環境負荷が低い
研究の応用・社会実装への期待 ・科学技術基盤研究(C) 平成25~28年度
 「定在波環境場におけるダイレクトパターン化セラミックス複合薄膜の作製」

・セラミックス材料(酸化物、窒化物等)における技術相談に応じることができる
 特に、ジルコニア、アルミナ、チタニアなど

・セラミックス材料の製造、整形、膜化に関しる技術相談に応じることができる
 多結晶、単結晶、薄膜、コンポジットなど

・金属、セラミックス材料のX線回折の高度な測定と解析の相談に応じることができる

この研究の紹介は1つの事例である。これら以外にも粉末、乾式、溶液プロセス、電気化学等を取り扱ってセラミックス材料を合成する研究を行っているので、共同研究や技術相談の声をかけてほしい
研究REPORT
更新日 2021-01-21
PDF表示
一覧に戻る